二次离子质谱概述
u 一定能量的离子打到固体表面会引起表面原子、分子或原子团的二次发射，即离子溅射。溅射的粒子一般以中性为主，其中有一部分带有正、负电荷，这就是二次离子。利用质量分析器接收分析二次离子就得到二次离子质谱。根据溅射的二次离子信号，可对被轰击样品的表面和内部元素及分布特征╲进行分析。
u 二次离子质谱仪主要用于材料学（半导体、薄层、绝缘材料等）、地质空间学、天体化学、环境微生物学和细胞学。
u 主要功能：
质谱分析-表面卐微区元素组成
痕量元素深度剖析
二次离子成像及显微图像分布（2＆3D）
稳定同位素丰度比
放↑射性颗粒分析
地质定年
二次离子质谱 IMS 7f
1、全球众多独立分析实验室卐的主力军
2、通用磁扇区二次离子质谱仪：比飞行时间（TOF）SIMS要快，比四级杆
SIMS质量分◤辨率要高
3、高灵敏度痕量元素分析：ppm-ppb级
4、痕量元素深度剖析：亚微米级横向分辨率，纳米级深度分辨率
5、高灵敏度痕量元素二次离子显微∞图像（2＆3D）
6、高①分析速度高精度的稳定同位素丰度比
7、可增配防辐射装置，用于放射性样品分【析
8、用于半导体、材料和核○能科学、生态环境领域、地质学
