聚焦离子束激光离子化纳米质谱成像系统 (FILMER)
-纳米尺寸表面质谱成像
FILMER基于二次离子质谱技术，集成了聚焦◣离子束，扫描电子显微镜☆和激光器。
功能
? 二次离子质谱
原理
用聚焦离子束溅射试样表面，收集和分析排出的二次离子；
数据采集
这些二次离子的质量/电荷比♀及质谱可确定元素，同位素，或分子组成；
?激光二次中性质谱（Laser-SNMS）
原理
用聚焦离子束溅射试样表面，使用激光共振电离大多数溅射中性原子；
数据采集
与二次离子质谱相同
?聚焦离子束精细加工
可以通◤过连续Ga聚焦离子束连续■溅射样品表面除去想要除去的部分；
?二次ω离子质谱及扫描电子显微镜观测
可实现二次离子质谱及扫①描电子显微□ 镜两种观测方式；
主要特点：
1. 高空间分◆辨率
横向分辨率 < 40nm
质谱↑分辨率▼ m/Δm >7000@m/z=56
2. 可原位加工和¤分析，避免暴露于空气中
SEM小损伤观测，可定位值FIB相同位置；
可分析颗『粒表面及横截面；
3. 可实现激光二次中性质谱
与传统SIMS相比可显著改善信号灵敏∑ 度；
高█灵敏度的有机化合物分析；
性能
原始束流
30kV Ga+
横向分辨率
40 nm
测量范围
500μm ~ 500nm
质谱分析
飞行时间（TOF）
质谱分辨率（m/z = 56)
m/Δm = 7000
激光器
飞秒激光器
激光波长
1030nm, 515nm, 355 nm, 257nm
激光能量
10W / 1mJ (1030nm)
扫描电子显微镜
30kV ~ 5 kV
扫描电子显微镜横㊣向分辨率
＜30nm
样品尺寸
X1cm×Y1cm×Z3mm
机械操作
5轴
可选
电荷中和装置, 转移容器,等
应用案例◣请登录www.masrc-china.com或拨打021-22810182
欢迎您的来访！
