●主要技术参ω数:
参数名称 |
单位 |
KGPS -160 |
KGPS -200 |
KGPS -250 |
KGPS -250 |
坩埚有效容积 |
mm |
Φ200×300 |
Φ300×400 |
Φ400×750 |
Φ500×1050 |
中频电源功率 |
Kw |
160 |
200 |
250 |
250 |
中频电源频≡率 |
Hz |
4000 |
4000 |
2500 |
2500 |
最高工作温度 |
℃ |
3000 |
3000 |
3000 |
3000 |
极№限真空度 |
Pa |
1.2×10-1 |
1.2×10-1 |
1.2×10-1 |
1.2×10-1 |
压升率 |
Pa/h |
2 |
2 |
2 |
2 |
恒温区温差 |
℃ |
±10 |
±10 |
±10 |
±10 |