日本日立FFT9500X、FT9550X型X射线荧光镀层厚度测量仪
日立（EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、FT110A、FT9300、FT9500、FT9500X、FT9550X、FT150、FT150h、FT150L）FT9500系列产品,搭载了高性能X射线管，实现了高精度的测定。FT110A极微小准直管和可变焦距光学系统的组合，实现了对极微小部分的测定。对有段差的样品也适用。
1．FT9500X搭载了50W高性能X射线管。
2．FT9500X搭载毛细聚①焦导管。
3．容易对微小领域进行观察，FT9500X搭载了能4阶段切换的可变◆焦距光学系统。
4．依据照明能很容易对以前观察困难的样品进行观察。
5．FT9500X搭载了防止有凹凸的样品碰撞的传感器。
6．搭载了焦点切换功能，FT9500X能够对卐有高度的样品的低部分进行测定。
7．FT9500X利用伺服马达精确的驱∑ 动平台。
7．FT9500X运用激光聚焦功能简单实现位置的调整。
