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多孔氮化硅薄膜窗特点 ● 相对大的实验区域； ● 增加了薄膜的弹性； ● 孔的尺寸适合实验要求； ● 薄膜边缘有25μm宽度是无孔的； 多孔氮化硅薄膜窗参〓数： 框架大小：Φ3mm； 框架厚度：200μm； 薄膜厚度：50/100nm； 窗口大小：0.5x0.5mm； 孔径：2.5μm； 孔间距：4.5μm； 孔排列：100x100；
