加载中
福润德
005 (GFL)
详细说明
太阳能扩散炉主要满足光伏电池生产线对125mm×125mm、156mm×156mm多晶硅、单晶硅硅片进行扩散ξ工艺。目前有第二代闭管扩散炉和第三代软着陆扩散炉。
太阳能扩散炉技术指标：
u可处理硅片尺寸：125mm×125mm、156mm×156mm
u外型形式：卧式1—4管结构
u载片量：400片／管
u扩散方式：闭管扩散、软着陆全封闭
u工作温度：200℃—1300℃
u恒温区长度及精度：200mm—1100mm≤±1℃
u单点温度稳定性、重复性：≤±1℃／24h
u温度控制：5段控温
u总功率：120KVA
u送片装置：悬臂推拉舟，碳化硅桨最大载重17kg
u气路系统：1—5路工艺气体／管
u气体控制：进口MFC
u控制方式：工控机、触摸屏
uThinnerwafers：180Um
uBreak rate：0.8％
u方阻均︼匀度范围：片内±5％，片间±5％，批间±5％
