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扩散炉
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产品报价:
¥
50000
元
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产品热度:
加载中
品 牌:
福润德
产品型号:
013 (KSL)
所在地区:
山东
详细说明
扩散炉主要满足半导体电力电子器件、大功率集成电路等行业,对所加工硅片进行扩散、氧化、退火、合金等工▅艺。主要由扩散炉加热炉体、气源系统、控制系统、超净化操作系统〓等组成。选用工控机微控方式或者程控方式操作。
扩散炉技术Ψ指标:
t可处理硅片尺寸:2—12英寸
t外型形式:卧式1—4管结构
t工作温度:200℃—1300℃
t恒温区长度及精度:200mm—1100mm≤±0.5℃
t单点温度稳定性▃、重复性: ≤±1℃/24h
t温度斜变: 可控升温速率15℃/min
t可控降温速率: 5℃/min
t送片装置:全自动悬臂推拉舟、拉杆式推拉↓舟
t气路系统:1—5路工艺气√体/管
t气体控制:全自动MFC
t控制方式:工控机、触摸屏
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