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性能名称
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技术指标
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可测片径
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4″、5″、6″
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工作台
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最大行程
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180mm×260mm
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定位精度
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≤±0.015mm
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步进分辨率
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0.001mm
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承片台
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Z向行程
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8mm
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Z向⌒ 定位精度
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≤±0.005mm
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Z向分辨率
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0.001mm
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θ向调节范围
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±10 o
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θ向分辨率
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0.001 o
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观察装置
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双目体视显微镜，放大倍数7.5X～45X
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遮光罩装▽置（适合对光敏感器件的遮光测试）
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（选配）
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上、下︾圆片方式
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手动方式
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外形尺寸（宽×深×高）
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750mm×700mm×1500mm
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