老快三
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蓝宝石非接触测厚仪非接触厚度测试系统。不受样本是否导电影响，适用于所有可让「红外线通过的材料：蓝宝石、碳化硅，可以在衬底有胶膜、夹具及在上爉固定后的情况下测量。■ 手动，半自动以及全自动解决方案。■ 系统的Mapping功能可测量整片衬底 √衬底厚度 √厚度变化 (TTV) √ 粗糙度 √ 翘曲度(Warp/ Bow) √ Bow √ TSV √ 通孔深度 √ 侧壁角度
