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自动41点精密测厚仪 产品型号：进口 自动41点精密测厚仪是硅片几何测量的小型台式仪器。该指数是基于两个厚钢板相反对方展开，每个板块包含了一套非接触式电容式传感器，可测硅片厚度、TTV、弯曲度、翘曲度等。功能特点 非接触操作分辨率可达0.1微米数学模拟真空吸盘每片晶圆的最大测量时间：5秒全自动测量，无需任何操作可连接电脑，提供数据评估软件提供快速、简单的重新校准操作
