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天津拓普
TPY-1型
天津市拓普仪器有限公＠司（光学仪器厂）
详细说明
椭圆偏振法测量已在光学、半导体、生物、医学等诸多领域得到广泛的应用。因为它具有灵敏度↓高、精度高、非破坏性测量等优点。
产品特点：
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度①高、灵敏度高以及方便测量等特点；
光源采用氦氖激光器，功率稳定波长精度高；
仪器配有生成表、查表以及精∩确计算等软件，方便用户使用。
规格与主要技术⊙指标：
测量范围：薄膜厚度◣范围：1nm-300nm； 折射率范围：1-10
测量最小示值：≤1nm 入∑ 射光波长：632.8nm
光学中心高：80mm 允许样品尺☆寸：φ10-φ140mm，厚度≤16mm
偏振器方位角范围：0°- 180°读取分①辨率为0.05°
测量膜厚和折射率重复性〖精度分别为：±1nm和±0.01
主机重量：25kg 入射角连续调节范围：20°- 90°精度为0.05°
