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                离子溅射仪

                离子溅射仪
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                • 离子溅射仪
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                LJ-16
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                详细说明

                  产品描述

                  LJ-16小型离子溅射仪由裕隆时代公司精心设计制造,是专用于扫描电镜(SEM)的样品喷金镀膜系统,能够极为有效的提高电镜观测效果。

                  产品特点:操作简便,性能优越,质量稳定,功能丰富

                  相比上一代产品,LJ-16小型离子溅射仪□ 有大幅度的性能提升:

                  ◆换装新一代真空泵,大幅◣降低仪器噪音和废气污染。

                  ◆配置高质量真空系统和微调阀,结合自动控制电路,预置工作真空和电流,无需反复调节,操作极为简≡洁。可自选电离气体(空气或氩△气),以获取理想的镀膜效果。

                  ◆棱角成型工艺制成高强度玻璃工作室,防止轻易磕●碰损伤和崩边。

                  ◆配置溅射电流控制器和微l量@气体调节阀,结合自动控制电路,轻松控制真空室真空、电离电流,并可ξ 任意选择所需电离气体,以获得理想镀膜效果。

                  ◆标配Φ58mm x 0.1mm 大尺寸纯金靶,溅射范围更大,靶材使用时间更长。

                  ◆高级铝制机箱,坚实美观,模块化设计,便于安》装检修。

                  ◆预设参数,一键操作即可完成溅射功能。

                  技术参数

                名称

                规格

                名称

                规格

                玻璃处理室

                Ф 125mm x 高度125mm

                真空保护

                20Pa,配有微量气▃体调节阀调节工作真空

                试样台尺寸

                Ф 40mm, 可同时放六个样品╱杯

                工作气体

                空气或氩气

                金靶尺寸

                Ф58毫米 X 0.1毫米

                定时开关

                控制溅射时间,范围为10~110S

                真空系统

                直联旋片真空泵 2升/秒

                可用靶材

                金靶,铂靶,镍靶

                真空检测

                皮拉尼真空计

                产品尺寸

                375mm X 300mm X (高度)178mm(带玻璃罩)



                工作电源

                220 VAC 50Hz

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