YX-2D6通用型配置如下:(适用晶片、晶棒)
1、一侧GA测角仪能测晶体Φ2---Φ6英寸晶圆片;111, 100, 211等角度;能测晶棒参考面110;OF等角度。蓝宝石A,C,R面等角度。
2、另一侧GC测角仪能测Φ2---Φ6英寸晶圆片111, 100,211 等角度;能测晶棒Φ2---Φ6英寸,400㎜长晶棒端面 111, 100等角度。蓝宝石A,C,R面等角度。
技术参数:
X 射 线 管:铜靶,阳极接地,强迫风冷
管 电 压:30KVP,全压合闸
管 电 流:0-5mA,连续可调
整机功率:交流220V 不大于0.3KW
综合精度:±30″
角度数字显示:以度、分、秒显示,最小读数10″
计数器旋〓转角度:2θ角-10°------+110°
样品晶体旋转角度:θ角-10°------+55°
计 数 管:盖革▲计数管,工作电压500-----1100V
时 间 常 数:分0.1、0.4、3秒三档可调
保 护:高压↑连锁保护,温度保护
狭 缝:4′、5′、6′
可测晶体重量:最重30KG的晶棒
可测晶体直径:GA Φ2-------Φ6英寸晶圆片
可测晶棒长度:GC Φ2-------Φ6英寸,400毫米长晶棒
工 作 位:双测角仪、双工作台
外型尺寸:1140mm×650mm×1030mm
仪器重量:200KG