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匀胶显影机价格|规格 参数:
显影工位: 一个操作工位
程序时间: 显影1—99秒 漂洗1—99秒 干燥1—99秒
旋转器转数: 500—8000转/分(连续可调)
硅片直径: Φ30—Φ75mm
净化效果:美国联邦ξ 标准100级净化
操作区风卐速: 0.3—0.5米/秒
气流状态: 垂直层流
外形尺寸: 650Χ750Χ1620mm
控制范围和≡精度:转速控制范围为:500-8000转,精度为±3%
时间控制范围为:1-99秒,精度为±5%
匀胶显影机价格|规格 产品说明:
转速调整采用高精度D/A转换,具有128级的精度调谐。
转速◣查看智能化。(自动识别哪个电机开或关)自动转换到开启的电机上。可予先选定,也可在运行中随时查看任一电机∩的转速。
采用先进的╳I2C总线技术和E2PRAM数字存储器,可预存10组工艺参√数(匀胶机A型机可∞予存10个延时时间,40个电机转速参数。B型机可予♀存20个时间★参数,80个转速↘参数;显影机可保存9个慢启▽动参数,30个时间,30个转速参数)。保存的参数掉电10年不丢失。调整后的参数自动保存,简化Ψ了操作。
具有全自动智能控制功能,当使用全自动方式时只需放好工件,然后按一下ATART(开始)键,吸盘自动打开,定时←工作完成后延时6秒电机停稳后自动关闭吸盘,喇叭鸣三声,提示完成工作。大大的提高了工作效率。
定时的时间和转速的测量全部由软件控制,定时部分采用◣倒计时的方式显示,转速测量部分直接显示被测电机的每分钟转数。调整部分由软件和D/A转换器控制,去掉了ω原使用CMOS电路采用的拨盘开关和机械电位器的机械触点。在原基础上增加了全自动功能◣∞,减少了操作程序,避免了频繁的开关面板上的按键开关,大大的降低了按键开关因频繁使用而损坏。提高了整机的可靠性和使用寿命◆。调整,启动,切换,停止,并有提示音↘。