Hiden IFG200 快速原子轰击/离子枪（FAB / Ion Gun）是采用最新技术的 FAB /离子枪，进行静态、动态 SIMS研究，表面和深度分析。

应用：

    · 静态、动态SIMS 研究
    · 俄歇电子波谱
    · 离子束溅射
    · 绝缘体的FAB/SIMS 研究
    · 表面科学研究
    · 光栅 / 深度分析


特点：

    · 2mm 原子或离子束，当能量从0.5～5 keV.
    · FAB研究中，电荷交换室，使离子、原子快速交换
    · 静电偏斜透镜，以清洁FAB 束
    · 高电流密度，及稳定配置
    · 离子束模式中，离子枪的3°偏移量，用于中性粒子的最佳排斥
    · 使用惰性■气体和氧气的能力
    · 差式泵源减少室内气体
    · 双灯丝结构容易更换
    · 控制︻单元与IG20高亮度离子枪完全兼容
    · 加上SIM 和EQS 探针直接完整操作，便于直接光栅速度