3F/EPIC 自由基分析质谱
EPIC/3F 三级过滤四极质谱(EPIC Systems with Pulse Ion Counting and Pole Bias Control)用于高精密科学分析、过程研究，以及中性粒子、自由基、离子的UHV 分析。
应用：
· 中性粒子、自由基，正、负离子分析
· 电子附着研究
· 表面科学，分子束研究
· 超高真空程序升温脱附（UHV－TPD）
· 高性能残余气体分析
· 脱附、除气作用研究
· 容器、过程气体污染【物分析
特点：
· 灵敏度高，检测范围从100% 至 5ppb.
· 质量数至 2500 amu, 6、9、12 mm 直径的四极杆可选.
· 加强的长期◇稳定性(24h以上，峰高变化小于±0.5% )
· 通过 ±100 V（1000 eV 可选）中轴电势扫描可知离子能量分布
· 离子源控制□，以实现软〖离子化及表观电势质谱
· 灵敏度增强利于质量数较大的离子的传输；自动质量数范围列表
· 脉冲离子计数□ 器，连续7个数量级动态范围，Faraday 选项为5x1010
· 一级过滤处增加射频，增强抗污染物能力
· 当分析能●量（或质量）分布变化与时间的关系，或进行TOF研究时，
信号选通分辨率为 1µs
· 操作升温脱附时，温度亦可同步显示
· 标配 UHV 罩, 液氮冷却罩可选
· 软件 MASsoft 控制.
· 可升级至♂等离子体 / SIMS 配置
