残余气体分析仪
Residual Gas Analysers
仪器介绍
Hiden RGA 系列残余气体分析四极质谱仪(Residual Gas Analysers)，检测容器中的存在组分，或进行过程中产生气体ξ的分析。针对真空诊断的精确分析。
· 残余气体或泄漏检测
· 实际泄漏或脱附分析
· 除气研究
· 烘烤周期
· 泵效能
· 腔室/过程气体污染物
主要特点
· 灵敏度PPM,质量数至300amu
· 稳定性（24小时以上，峰高变化小于±0.5%）
· MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控︾制
· 快速显示柱状图、趋势分析和信号峰
· 混合模式∏扫描－多个windows窗口显示¤信息，例如趋势、柱状图和信号峰
· 同步显示数据图，列表
· 同步背景扣除，自动质量数列表
· 数据↓输出为ASCII格式，至windows设备
· 即时动态数据交换至其他DDE兼容的windows软件，例如
· Excel、SPC-IV统计过程控制软件等
