用途
粗糙和光滑表面检查和测量
金属片、纸、玻璃、晶片、刀具及其它表面的微观形貌测量
微机械元件的尺寸测量
冶金金相测量
直线度、平面度、台阶高度，粗糙度的测量和计算
特点
非接触测量表面轮廓、反射率、垂直和横向尺寸
测量范围X、Y向可达300mm，Z轴可达50mm
横向分■辨率优于1μm，垂直分辨率最高接近1nm
可用显微镜和照相机观察表面
2D/3D粗糙度参数的测量，可选择：FFT，ACF，平面度、台阶高度，斜度
采ξ 用宏汇编语言编制自动化测量程序
优点
3D结构的快速、非※破坏性的测量
测量结果不受表面反射率波动的影响
测量系统的用户化特殊配制
简单直观的操作
微型化Ψ 的传感器
特定的用户化的传感器
可定价↓的预算，价格合理
