对于表面划痕、刻线或某些缺陷的深度也可用来进行测量。
光◥切法特点是在不破坏表面的状况下进行的。是一种间接测量方法。即要经过计算后才能确定纹痕的不平度。
技术参数:
1、测量范围不平度平均高度值（微米）：
>0.8-1.6、>1.6-6.3、>6.3-20、>20-80
2、表面光洁度（级别）：9、8-7、6-5、4-3
3、所需物镜：60倍N.A.0.55、30倍N.A.0.40、
14 倍N.A.0.20、7倍N.A.0.12、
4、总放大倍数：510X、260X、120X、60X
5、物╳镜组件工作距离（mm）：0.04、0.2、2.5、9.5
6、视场（mm）：0.3、0.6、1.3、2.5
7、摄影装置放大倍数： 约6倍
8、测量不平度范围：（0.8-80）微米
9、不平宽度：
用测微目∩镜：0.7微米-2.5毫米
用座标工作台：（0.01-13）毫米
10、仪器重量约：23公斤
11、外形尺寸（mm）： 约180*290*470
仪器的成套性：
1、仪器主体 1台
2、测微目镜 1只
3、座标工作台 1件
4、V型块 1件
5、标准刻尺（连盒） 1件
6、物镜7X、14X、30、60 各1只
7、可调变★压器220/4~6V 1只
8、摄影装置（选配件） 1件
9、6V2.1W灯泡（备用件） 3只
