参数和性能指标
厚度范围： 20nm-50um（只测膜厚），100nm-10um（同时测量膜厚和光学常数n，k）根据薄膜材料的种类，其范围有所不同。
准确度： <1nm或<0.5%
重复性： 0.1nm
波长范围： 380nm-1000nm
可测层数： 1-4层
样品尺寸： 样品镀膜区直径>1.2mm
测量速度： 5s-60s
光斑直径： 1.2mm-10mm可调
样品台：290mm*160mm
光源：长寿命溴钨灯（2000h）
光纤：纯石英宽谱光纤
探测器：进口＠ 光纤光谱仪
电源：AC100V-240V，50HZ-60HZ
重量：18kg
尺寸：300mm*300mm*350mm
产品功能适用性
该仪器适用于多种◣介质，半导体，薄膜滤波器和液晶等薄膜和涂层的厚度测量。
强大的软件功能
界面友好，操作简便，用户点击几次鼠标↘就可以完成测量
可方便的保存、读取测量得到的反射谱∏数据
数据处理功能强大。可同→时测量多达四层的薄膜的反射率数据。一次测量即可得到四层薄膜分别的厚度和光学常数等数据。
材料＠库中包含了大量常见的材料的光学常数的数据。用户可以很方便地自己扩♀充材料的数据库。
