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椭圆偏振法测量的原理很早就已提出 ,相应的测试方法和设备也不断地被改进和创新 ,使得椭圆偏振法成为重要的测试手段 ,广泛地应用在光学、材料、生物、医学等各个领域〔1〕.其中测量薄膜材料的厚度、折射率和消光系数是椭圆偏振法最基本、也是非常重要的应用之一 .
