• 20/40/50/70/
• 双向重复定位精度优于2um
• 无空回球形螺杆
• 预紧球形轴承
• 高精度Hall-effect ，机械，感应限位开关
可选项
• 制动刹车
• 光栅尺（精度±3 µm/m 分辨率0.1 µm）
技术参数（无负载，
| | 步进电机驱动 | 直流伺服电机驱动 | |
| 行程 | 20/40/50/70/ | 20/40/50/70/ | |
| 速度/最大 | | ||
| 负载/最大 | 100N | ||
| 驱动力/最大 | 50N | 30N | |
| 螺距 | | ||
| 重复定位精度/双向 | <2um | ||
| 位置误差 | <16um/ | ||
| 偏转角 | <100urad | ||
| 俯仰角 | <150urad | ||
| 垂直偏差 | <4um | ||
| 水平偏差 | <4um | ||
| 电机电压/最大 | 40V | 24V | |
| 保持电压 | 2.0V | | |
| 电机电流/最大 | | | |
| 每转步数 | 200 | 2000 | |
