• 50/80/155/195/
• 双向重复定位精度优于2um
• 无空回球形螺杆
• 预紧球形轴承
• 高精度Hall-effect ，机械，感应限位开关
可选项
• 制动刹车
• 光栅尺（精度±3 µm/m 分辨率0.1 µm）
技术参数（无负载，
| | 步进电机驱动 | 直流伺服电机驱动 |
| 行程 | 50/80/155/195/ | 50/80/155/195/ |
| 速度/最大 | | |
| 负载/最大 | 150N | |
| 驱动力/最大 | 60N | |
| 螺距 | | |
| 重复定位精度/双向 | <2um | |
| 位置误差 | <16um/ | |
| 偏转角 | <75urad | |
| 俯仰角 | <75urad | |
| 垂直偏差 | <2um | |
| 水平偏差 | <2um | |
| 电机电压/最大 | 40V | 24V |
| 保持电压 | 3.2V | |
| 电机电流/最大 | | |
| 每转步数 | 200 | 2000 |
