本体规格：
测试项目
pull test
破坏/非破坏/承重保持

push test

shear test

peel test

测试速度
pull test
0.001～5mm/sec(0.06～300mm/min)

push test

peel test

shear test
0.001～10mm/sec(0.06～600mm/min)

平台移动范围
X轴
±50mm

Y轴

Z轴
70mm MAX

工作台旋转
360度

传感器旋转
±170度

测试荷重范围
pull test
20kg MAX

push test
5kg MAX

peel test

shear test
100kg MAX

测试荷重精度
±0.2％FS

测试时间分解能
0.001SEC

输出单位
9f/N

自动︻归零功能
Z轴
测试开始

X-Y轴
任意

平台移动功能
Z
0.001～5mm/sec

X-Y
0.01～10mm/sec

定位功能
基板面检出方法
荷重传▲感器接触力检出方式

基板面检出范▃围
0.1～10％FS

驱动马达
A 从基板面检出地点开始上升

B 从除去基板变形量得地点开始上升

C 从基板面检出地々点开始下降

荷重保持功能
保持方式
一定荷☉重方式/变位固定方式

保持时间
0.05sec～10min

测试◥完成判定方式
方式
破坏检出/驱动（变位）距离

破坏检出范围
25～75％

测试完成后驱动方式
Z轴
完成点停止/测试开◢始点复归任意上升（0～50mm）

X-Y轴
完成点停止/测试开始点复归

实体显微镜
倍率
7.5～48倍（可变焦型）

观察方向
±90度

外部输出
USB（RS-232C）内置打印机（选购件）

安全功能
超负荷荷重检出停止
110％FS

接触检测
1～35％FS

过→升温检出
2系统检出*加热模块（选购件）使用时

应用
电源
AC100～240V 50/60Hz

压缩空气
*空压装置（选购件）使用时

抽真空
*吸附平台（选购件）使用时

本体形状
尺寸
W4