MM60是最新型FPD检查显微镜,专为LCD行业TFT玻璃COG导电粒子检查以及6英寸及以下的集成电路硅片在线检查和实验室分析设计.具有成像清晰,工作距离长,使用便利,应用软件丰富的特点.是一款性价比非常优秀的半导体及微电子工业与科研用显微镜. 其微分干涉效果可与进口品牌相媲美.
1,显微镜观察方法：各个倍数下均可以进行明场，简易偏光观察,微分干涉观
察,各倍率成象清晰度好. 可作透射与反射照明观察;
2,机械结构：正置式 三目镜筒 倾角30? 带Ｃ型数码接口
3,光学系统: 无限远光学系▓统
4,物镜种类: 无限远光学,长工作距离平场消色差,确保目镜视场为22mm 时
各个镜头↘视野平坦.
5,物镜数量和参数:
1) LWDPLAN 5X: 数值孔径(N.A) 0.14, 工作距离:20.5mm
2) LWDPLAN 10X: 数值孔径(N.A) 0.25, 工作距离:16mm
3) LWDPLAN 20X: 数值孔径(N.A) 0.40, 工作距离:7.8mm
4) LWDPLAN 50X: 数值孔径(N.A) 0.55, 工作距离:7.9mm
5) LWDPLAN 100X: 数值孔径(N.A) 0.80, 工作距离:3mm
6,目镜: 10X,视场直径(F.N) 22mm,瞳距和屈光度可调,
7,光学有效㊣放大倍率: 50X-1000X(物镜倍率X 目镜倍率)
8,照明器:
1)反射柯「勒照明,包含3W 长寿命LED 灯泡;亮度可连续调节;
2)带视场光阑(FS)和←孔径光阑(AS)
3)滤色片:内装蓝色,黄色,绿色,中灰四种
4) 4"或6? 机械平台,X,Y 方向移动行程:110mm X 105 mm；可放置标本最大高度为:33mm;
9,调焦机构: 同轴粗微调,微调最小刻度1 微米, 含三级调焦机构:微调,粗调及张力调节环.
