机器型号 | Croma | 564 | 686 | 8106 | 8126 |
行程大小mm | X | 500 | 600 | 800 | 800 |
Y | 600 | 800 | 1000 | 1200 | |
Z | 400 | 600 | 600 | 600 | |
承重kg | | 300 | 300 | 500 | 500 |
机器重量kg | | 590 | 730 | 730 | 1196 |
MPEp(um) | | 3.5 | 3.5 | 3.5 | 4 |
MPEe(um) | | 2.8+L/300 | |||
光栅尺分辨率 | | 0.078um | |||
空间移动速度 | | 520m m/s | |||
空间移动加速度 | | 1730m m/s | |||
流量/供气压力 | | 120N1/min 0.45Mpa | |||
温度 | | 20±2℃ | |||
湿度 | | 45%-75% |