半导体参量测试系统
主要功能：
1、半导体材料特性测定
A．材料随温度变化的I-V；C-V曲线的测定；
B．材料随温度变化的Photoluminescence（荧光发光特性）的测定；
C．材料随温度变化的能带宽度的测量；
D．半导体材料对应不同频率波长的光的透过、反射特性的测量；
E．半导体材料随温度变化的电子迁移率的测量；
F．半导体材料随温度变化的电导率的测量；
G．半导体材料表面形貌的观测；
2、半导体器件的测量：
A．二极管器件随「温度变化的I-V；C-V曲线的测定；
B．晶体←管器件的三极之间的I-V关系的综合测量；
C．器件随温度变化的Schottky势ω 垒高度的测量；
D．微纳结构器件的形貌的观测;
E．二极管、三极管的质量检测.
