特点:具有自动高精度进样泵系统,自动高精度三维平台(X、Y方向150 mm行程,Z方向25mm行程),高级CCD及变焦光学系统,手动光学系统倾角平台,特制真空吸附硅晶圆样品台
主要系统参数:
a) 接触角测量范围:0-180°
b) 精度:0.5°
c) 分辨率:0.01°
2. 样品台控制
a) 前后移动 手动,行程50mm,精度0.1mm
b) 左右移动 手动,行程50mm,精度0.1mm
c) 上下移动 手动,行程25mm,精度0.1mm
d) 水平调整 水平脚调整平台水平
e) 样品台尺寸 70mm×70mm,无◥控温系统
3. 进样器控制
a) 上下移动 手动部分:齿条,行程25mm,精度0.1mm
b) 手』动旋钮式进样系统
4. CCD光学系统
a) 光学放大:0.7-4.5×连续变倍(仅变倍参数,内置还有放大后√置镜)图像放大率:50-318piexl/mm
b) CCD参数 USB2.0制式700线工业CCD25帧/秒的速度(可选配高速CCD)
5. 背景光控制
a) 光源 LED可调单色冷光源
b) 镜头前后调整 手动,行程10mm,精度0.1mm
c) 镜头上下调↑整 手动,行程10mm,精度0.1mm
d) 镜︾头俯视调整 手动倾角平台
6. 软件部分
a) 测量方式 半角量角法、半角量高↓法、自动测量法、五点∩拟合法
b) 动∩态视频测量 自动触发 视频速度:25帧/秒
c) 间隔存储 1-3600秒可选
d) 动态接触角 前进角和后退角
e) 左右角对比 计算左右々角并取平均值
f) 液滴量控制 软件控制,精度0.1微升
g) 表面自由能 owens二液法(其他方法可选择)
h) 曲面校正 凹凸面接触角测量
i) 软件升级 免费升级