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                硅晶◆圆接触角测量仪

                硅晶圆接触角测量仪
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                北京
                详细说明

                硅晶圆接触角测量仪

                特点:具有自动高精度进样泵系统,自动高精度三维平台(X、Y方向150 mm行程,Z方向25mm行程),高级CCD及变焦光学系统,手动光学系统倾角平台,特制真空吸附硅晶圆样品台

                主要系统参数: 

                a) 接触角测量范围:0-180°

                b) 精度:0.5°

                c) 分辨率:0.01°

                2.   样品台控制

                a)   前后移动    手动,行程50mm,精度0.1mm

                b)   左右移动    手动,行程50mm,精度0.1mm

                c)   上下移动    手动,行程25mm,精度0.1mm

                d)   水平调整    水平脚调整平台水平

                e)   样品台尺寸  70mm×70mm,无◥控温系统

                3.   进样器控制 

                a)   上下移动    手动部分:齿条,行程25mm,精度0.1mm

                b)   手』动旋钮式进样系统

                4.   CCD光学系统

                a)   光学放大:0.7-4.5×连续变倍(仅变倍参数,内置还有放大后√置镜)图像放大率:50-318piexl/mm

                b)   CCD参数    USB2.0制式700线工业CCD25帧/秒的速度(可选配高速CCD)

                5.   背景光控制 

                a)   光源   LED可调单色冷光源

                b)   镜头前后调整     手动,行程10mm,精度0.1mm

                c)   镜头上下调↑整     手动,行程10mm,精度0.1mm

                d)   镜︾头俯视调整     手动倾角平台

                6.   软件部分   

                a)   测量方式    半角量角法、半角量高↓法、自动测量法、五点∩拟合法

                b)   动∩态视频测量     自动触发  视频速度:25帧/秒

                c)   间隔存储    1-3600秒可选

                d)   动态接触角  前进角和后退角

                e)   左右角对比  计算左右々角并取平均值

                f)   液滴量控制  软件控制,精度0.1微升

                g)   表面自由能  owens二液法(其他方法可选择)

                h)   曲面校正    凹凸面接触角测量

                i)   软件升级    免费升级

                 

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