名称:实验用多晶硅铸锭炉
型号:ZT-40-16D
一、研发背景
应浙江大学硅材料国家重点实验室要求,本公司最新研发了一台小型实验室专用多晶硅铸锭炉,此设备具有如下特点:
1.具有当今市场主流铸锭炉的一切功能,包括实现全自动运行。
2.具有生产周期短,能耗低,实验成本节约的特点。
3.增加了部分新功能,除铸锭以外,还实现部分提纯功能。
二、技术参数
1.功率:40KW
2.坩埚容量:标准10英寸
3.最高温度:1550度
4.极限真空度:10-1Pa
5.保温罩上移距离:200mm
6.炉底最大位移:800mm
7.进出料方式:炉底进出
8.加热元件:石墨管加热
9.保护功能:除了超压自动泄压、漏硅声光报警、更有国际先进的漏硅保护措施,确保操作安全。