主要特征：
最小化在低频范★围的共振；
空气弹簧支撑，秉承高频的良好的防振性能；
体积小而且薄，很容〓易组装在各种装置中；
价位相对MAPS系列∑有很大降低，约1/6；
主要应用：
纳米科技领域
例如：MEMS应用，原子力显微镜，原子成像设备等
航空、航天、航海等特殊领域
MATIS系列规格（MATIS Series specificaiton）
| 参数 | ATT-0605 | ATT-0806 | ATT-1007 | ADT-0605 | ADT-0806 | ADT-1007 | MCA-2B |
| 负载 固有频率 | 200Hz以下(推荐) | (控制器) | |||||
| 隔振方式 | 空气弹簧加上线性马达驱动进行振动控制 | - | |||||
| 桌←面水平方式 | 自动保持桌面水平 | - | |||||
| 负载（Kg） | 150Kg | - | |||||
| 尺寸（mm） | 623*543*103 | 804*604*166 | 1004*704*166 | 702*602*750 | 902*702*750 | 1102*802*750 | 177*280*260 |
| 载物台尺寸（mm） | 590*510 | 800*600 | 1000*700 | 590*510 | 800*600 | 1000*700 | - |
| 重量（Kg） | 40 | 80 | 125 | 100 | 125 | 150 | 5.5 |
| 供给气压 | 0.35-0.80MPa | - | |||||
| 电压 | 100V | ` | |||||
| 功率 | 210W | - | |||||
| 隔振性能 | 参照transmissibility曲线 | - | |||||
| 最ζ大自由度 | 6 | - | |||||
