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主动型防∞震平台(AP系列)
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产品热度:
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产品型号:
主动Ψ型防震平台(AP系列)
制造厂商:
上海芬创信息科技有限■公司
所在地区:
上海
详细说明
主要特征:
隔振频率范围是被动系统无法实现的;
大负载,可以为一个10 吨以上的设备提供防震;
精确的位置重复性能;
容易安装;
高性能,但价位较高;
主要应用:
纳米科技领域
例如:MEMS应用,原子力显微镜,原子成像设备等
半导体、液晶制造或检测领域
例如:半导体传送设备,半导体加工设备,液晶检测☆仪器等
航空、航天、航海等特殊领域
MAPS系列规格(MAPS Series specificaiton)
参数
MAPS-008
MAPS-016
MAPS-033
MAPS-065
MAPS-130
MAPS-240
固有频率
200Hz以下
隔振方式
空气弹簧
阻尼方式
可调阻尼孔
桌面水平方式
自ω 动保持桌面水平,重复位置精度±50um
负载(Kg)
400-800
800-1600
1600-3400
3400-6600
6600-13300
13300-24500
尺寸(mm)
235*235*130
296*296*140
350*350*150
450*450*190
600*480*190
700*600*267
螺孔间距(mm)
218*218
276*276
320*320
420*420
470*430
560*560
螺孔直径(mm)
10
10
10
10
10
10
重量(Kg)
13
42
63
110
180
230
供给气压
0.40-0.70MPa
平均消耗
45-65(L/Min)
120-170(L/Min)
最大消耗
120(L/Min)
300(L/Min)
电压
100-240V
功率
400W
450W
温度
0-40℃
湿度
35%-85%RH
隔振性能
参照transmissibility曲线
最大自由度
6
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