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大负载防震平台(AP系列)
上海芬创信息科技有限公司
详细说明
主要特征:
标准高度,185mm;
大负载能※力,标准最大负载13 吨;
针对台面上移动的负载特殊设计;
能在洁净空卐间中使用;
多用途的系统;
主要应用:
半导体、液晶制造或检测领域
例如:半导体传送设备,半导体加工设备,液晶检测仪器等
大型专用设备领域
例如:大型扫描电子显微镜,透射电子显微镜,金属扎机,大型冲压设备等
航空、航天、航海等特殊领域
AP系列规格(AP Series specificaiton) |
参数 | AP-80 | AP-100 | AP-120 | AP-140 | AP-160 | 固有频率 | 2.5-3.0Hz | 隔振方式 | 空气弹簧 | 阻尼方式 | 可调阻○尼孔 | 桌¤面水平方式 | 自动保持桌面水平,重复位〖置精度±200um | 负载(Kg) | 560 | 880 | 1200 | 1700 | 2200 | 尺寸(mm) | 170*170*185 | 180*180*185 | 200*200*185 | 210*210*185 | 240*240*185 | 螺孔间距(mm) | 150*150 | 160*160 | 176*176 | 186*186 | 210*210 | 螺孔直径(mm) | 10 | 10 | 10 | 10 | 13 | 重量(Kg) | 18 | 20 | 25 | 29 | 30 | 供给气压 | 0.35-0.70MPa |
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参数 | AP-180 | AP-200 | AP-230 | AP-270 | AP-330 | AP-380 | 固有频率 | 2.5-3.0Hz | 隔振方式 | 空气弹簧 | 阻尼方式 | 可调阻尼孔 | 桌面水平方式 | 自动保持桌面水平,重复位置精度±200um | 负载(Kg) | 2800 | 3600 | 4600 | 6400 | 9600 | 13000 | 尺寸(mm) | 250*250*185 | 260*260*185 | 300*300*185 | 380*380*185 | 410*410*185 | 430*430*185 | 螺孔间距(mm) | 230*230 | 230*230 | 270*270 | 290*290 | 340*340 | 400*400 | 螺孔直径(mm) | 13 | 13 | 13 | 13 | 13 | 13 | 重量(Kg) | 32.5 | 35 | 45 | 55 | 70 | 90 | 供给气压 | 0.35-0.70MPa |
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