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技术参数
1.二次电子图像分辩率:3.5nm(30kV) 2.倍率:×20~300,00 3.可检测「元素:5B~92U(SSX-550) 4.最大样品尺寸:280mmФ 5.分辨率:138eV(SSX-550)
主要特点
从SEM观察到EDX分析都可轻松操作的SEM-EDX一体化系统。从样品表面观察到元素分析，在一个监视器上简便地操作。
仪器介绍
SS-550的观察功能增加了元素分析。
