Edwards EXT556H 复合涡轮分子泵
性能特点
高临界前级压力。
高体积流速。
* 抽速快。
多级Holweck分子拖曳结构，对轻气体产生高压缩比。
极限真空 <10E-10 mbar 。
提高了EXT的性能和可靠性。
复合轴承。
免维护。
机加工整体转子。
直流电机驱动。
技术数据
主入口法兰 DN160ISO-K
出口法兰 DN25NW
放气口 1/8 inch BSP
吹扫净化口 1/8 inch BSP
入口泵速*
N2 540 l/s
He 580 l/s
H2 500 l/s
Ar 510 l/s
压缩比
N2 >10E10
He 10E8
H2 10E6
Ar >10E10
前级泵（推荐） RV12
最高入口压力（ N2, He, H2 ）**
水冷（水温15°C） 2 x 10E-3 mbar
空冷（大气温度30°C） 1 x 10E-3 mbar
空冷（大气温度35°C） 5 x 10E-4 mbar
