Edwards EXT406PX 复合涡轮分子泵
性能特点
真空系统简单
* 可以选用较小的前级泵。
* 降低真空系统体积与功耗。
* 前级压力在8mbar就可启动,入口负载可达2E-3 。
* 前级压力在8mbar就可启动,入口负载可达2E-3 。
* 前级压力为17mbar时,还可维持正常转速。
非常适合于与隔膜泵联用,特别适用于抽H2。
兼容24v DC Edwards TIC涡轮控制器或涡轮仪表控制器。
* 也可使用用户自己的24V DC电源。
技术数据
入口法兰 DN100ISO-K、DN100CF、DN160ISO-K、DN160CF
压缩比
N2 >1 x 10E11
He 1 x 10E6
H2 5 x 10E4
出口法兰(前级泵口) DN25NW
前级泵(推荐) XDS10或RV12(或其它更小的,依应用而定)
放气口 1/8 inch BSP
吹扫净化∏口 1/8 inch BSP