Edwards EXT75DX 复合涡轮分子泵
性能特点
兼容TIC涡轮仪表控制器。
多种通讯模式。
并口,用于传统控制信号接口。
串口,用于RS-232接口。
通过RS-232接口,用户可以设置各种参数RS-232。
放气阀控制设置。
正常泵速显示。
准备转速显示。
可编程功耗调整。
泵温。
增强型泵速、功耗、温度监测。
技术数据
入口法兰 DN63ISO-K
压缩比
N2 >1 x 10E11
He 1 x 10E6
H2 5 x 10E4
出口法兰 DN16NW
级间口(Hi型) DN25NW
前级泵(推荐) E2M0.7
放气口 1/8 inch BSP
吹扫净化口 1/8 inch BSP