技术参数：
1.精确度: ±1% 满量程度fs (线性范围:气体t=15~25℃,压力=0.7~4.1bas);±2%f.s (线性范围:气体t=5~50℃,压力=0.35~10.3bars)
2. 满量程流量范围10sccm到100slm, 重复性: ±0.2%f.s
3.时间常数: AFM系列—300ms
AFC2600 (qmax=15sl/min)—300ms
AFC3600 (qmax=50sl/min)—600ms
AFC4600 (qmax=100sl/min)—600ms
4.响应时间: AFM系列在设置流速↓(25~100% f.s)的±2%变化值之内的响应时间大约为1秒
5.温度系数: ±0.1%f.s/℃
6.压力系数: ±0.01%f.s/psi(0.07bars)
7.最佳气体【压力: 25 psig(1.73bars)
8.最大的气体压力∞: 500 psig(34.5bars)max.标准校正压力为20psig(14bars)进气口压力
9.气体和※环境温度: 5℃~50℃
10.漏率:最大漏率1＊10-9sml/sec (he)
11.流体接触材料: 316或416不绣钢, viton o型圈, 备选o型圈:neoprene或kalrez
12.安装敏感性: 倾斜度不大于±15%,标准校正安装姿势为水平位置
13.输出信号:0~5v (2000ωmin,负载阻抗);4~20ma(0~500ω,线圈电阻)线性的直流电信号。最大的峰值噪音20mv
14.连接口: AFM/AFC2600,AFM/AFC3600 -1/4” compression,fittings, AFM/AFC4600 - 3/8” compression fittings.
备选 1/8” or 3/8” compression fittings or 1/4” VCR fittings.
15.传感器输入功率：AFM/AFC2600 ±15 ± 5% vdc, 80 ma max,1.2w; ±15 ± 5% vdc, 200 ma max, 3w;
AFC3600/AFC4600 ±15 ± 5% vdc, 220 ma max, 3.3w; ±15 ±5% vdc, 600 ma max, 9w.
16.电路保护：电路具极性方向保护，可更换的保险丝提供电源输入保护。
