美国AALBORG公司GFC经济型质量流量控制器
产品特点：性价比高、响←应速度快、可靠性高，易于集成、环路保护、备总量计数器
典型应用：CVD、PVD、刻蚀、等离子注入、溅射、ITO、玻璃镀膜、表面处理等镀膜工艺
1.不锈钢构造, 满量程流量范围10sccm到1000slm
2. 最佳工作压力25psig(1.73bars), 最大入口压力500psig(34.5bars)
3. 0~5vdc或4~20ma信号
4.集成漏率1＊10-7sml/sec (he)
5.精确度±1.5%f.s
6. 管路连接:1/4″1/8″3/8″1/2″3/4″Swagelok(可选VCR)
7. 电源12Vdc/24Vdc
8. 响应时间:到达设定点2％所需时间＜2秒
9. 重复性: 满量程±0.5%范围内
10. 温度范围5-50℃(41-122℉)
