压电阀产品型号：PEV-1产地：美国KEY压电阀是为了适用于要求精确控制气体流量的场合，主要应用领域包括: 磁控溅射，光学镀膜，太阳能电池，ITO，等离子体刻蚀等。特点1. 控制模式：开环控制和闭环控制2. 易于集成：可』与国产自动压强控制仪配套使用，来实现闭环控制，达到稳定压强的目的，性价比高，同时亦可选择进口压强控制仪3. 响应时间快4. 性能稳定，压电陶瓷片寿命长5. 无机械连接件，无伺服马达，无磨损，在断电的情况下可实现自动关闭的特点技术参数流量 0?-500 scmm 响应时间 2 毫秒 集成漏率 5×10-8sml/sec 驱动电压 0-100VCD/0-24VDC 电路连接 标准BNC接头（Q9）温度范围 100C至600C 最大入口压强 50PSI 重量 800克
