INFICON石英晶体膜厚监测仪产品型号：SQM160 SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器，标准型有两路传感器输入，同时，4路传感器输入可选，具体视用户实际应用而定；双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积速率及膜厚信号。在大型◤系统中，传感器输入可以分配给不同材料，采集的数据通过平均值，以达到更精确的沉积控制；也可以设定为双探头模式。在高沉积☆速率过程中，为了延长传感器的使用寿ω命，速率采集模〒式允许探头带一个档板。用户可以自己选择0.1?/s 还是0.01?/s的速率显示模式.另外，还可以选择频率或质量显示模式。SQM160的四路继电输出可以□ 用来控制沉积源、探头档板、信号时间、膜厚设定值以及晶片失效信号等。数字输入可以通过外部信号来对读数进◆行开始/停止和清零操作。SQM160石英晶体监测仪采用了RS-232接口和Windows?窗口软件，可以通过电脑上进行调试安装。软件可以用来设置和存储所有参数，包括仪器操作和保↘留程序数据到特定的Excel?文档。同时，USB或以太网选项也添加通信协议中，以最大程度方便不同用户。SQM160产品详细介绍便于使用 开启速率和膜厚测量，只需先▲按住Zero键以清除上次读数，然后关闭，打开源和传感器档板。宽大明亮的LED显示器可以同时显示膜层厚█度和沉积速率，即使操作人员离监测仪一定距离也仍然清晰可见。当达到预设膜厚或者镀膜时间到了，档板々就会自动关闭，同时前面板报警器开始亮灯。在镀膜过程中，操作员可以在任意时ξ 间通过Xtal Life键来查看晶片的剩余使用寿命。双菜单可以对监测仪的99个存储膜系进行设置。首先，选“program”键，进入菜单，然后，旋】转拨针钮，这样就可以选择◇或者编辑参数了。主显示界面显示菜单提示，而设定的数据可以在辅助界面中找到。高精度，低成本 标准型的频率分辨率是0.12HZ@ 4个读数/秒,如果用户有更严格的需求可以选择分辨率为0.03HZ@ 10个读数/秒的高精型。SQM160另一大优点是在整个工作范围内，温度稳定性可以达到〓2ppm。高精度和高稳定性的联袂使得该款仪器具备了卓越的性价比。产品特点：■ 双通道（标准型），四通道可选■ 沉积速率/膜层厚度模拟输出■ 高精度: 0.03Hz at 10个读数/s■ RS-232 接口, USB 或以太网可选产品规格▅QCM传感器输入 标准型: 2;路 可选: 4路 频率范围 1-10 MHz 频率分辨率 标准型: ± 0.12 Hz@ 4 readings/sec 可选: ± 0.03 Hz @ 10 readings/sec 频率稳定性 在 0o to 50oC，总计± 2 ppm 可选择■的测量周期 0.10 to 2 sec （每级增量0.05 sec） 测量选择 1 to 20 readings 存储膜系 99 模拟输出 2路0 to 10 VDC输出, 沉积速率 & 膜厚 数字输入/输出 2 路数字输入, 4路继电输出 数字接口 标准型: RS-232 可选: USB or 以太网 电源 0-120/200-240 VAC, 50/60 Hz, 20 W CE 标识 Class 1 equipment 73/72/EE C LVD, 89/336/EEC ECD 安装支架 1/2-rack cabinet, 3-1/2" high, 89 x 213 x 197mm （3-1/2" x 8-1/2" x 7-3/4"）重量 2.7 Kg （6 lbs） Windows软件（included） 提供远程安装和操作指导，数据录入→功能订货信息 附件782-900-008 单台SQM-160 19"安装支架782-900-014 双台SQM-160 19"安装支架782-502-062 4传感器输入扩展卡 （将标准型2路扩展到6路） 782-900-042 高分辨率选件 （此项需∏在工厂中完成安装）782-900-040 USB选择卡 782-900-041 以太网选择卡
