INFICON高压热电离皮拉尼真空计产品型号:HPG400 INFICON公司生产的HPG400型高压强热电离皮拉尼真空计将高压强热电离与皮拉尼规管综合在一个小型、轻便与经济的规管中，测量压强从2×10-6至1000毫巴(1.5×10-6至750乇)。HPG400提供高度的重复性和再现性压强测量，用于精确的溅射过程的压强控◤制。HPG400皮拉尼真空计详细资料优点：极宽的测量范¤围从5x10-10毫巴◎至大气压(3.8x10-10乇至大气压□) 极好的重复性,过程压强范围10-8 … 10-2毫巴均为5%皮拉尼连锁保护灯□ 丝,防止过早烧毁双敷涂钇的氧化铱长寿命灯丝可选图形显示和现场♀总线接口自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预容易更换具有在机校准的传感元件,保证高度¤重复性 应用：半导体工艺和输送室中的压强测量 工业镀膜一般真空测量和控制,从低至超高≡真空范围订 购 资 料型号 HPG400Without LCD display HPG400With LCD display HPG400-SPWith Profibus DP1） HPG400-SDWith DeviceNet1）DN 25ISO-KF 353-520 353-521 353-525 353-527DN 40CF-R 353-522 353-523 353-526 353-528更换←传感器25ISO-KF 354-487 354-487 354-487 354-487更换传感器40CF-R 354-488 354-488 354-488 354-488
