INFICON潘宁规产品型号：PEG100 INFICON PEG100真空潘宁规提供了可靠的高真空测量。无高真空灯丝。由于等离子点火的钛阴极板和高电压降低，潘宁规也可以应用在阴极溅射镀膜工艺上。特点：测量范围广：5 X 10 -7～1 Pa全金属冷阴极陶瓷传感器新型几何电极提供了极好ζ 的点火性能降低等离子点火高电压和钛阴极板污染的危险，即使『在氩溅射过程中也一样阳极环和钛阴◇极可清洗，更换容易最小磁场强度测量LED指示灯电源和等离子点火对数模拟输出信号Fieldbus总线接口（Profibus DB, DeviceNet）,集成到真◤空系统的网络通信
