INFICON复合真空规 （冷阴极和皮拉尼的复合）型号：MPG400和MPG401, INFICON的冷阴极和皮拉尼的复合真空规 MPG400和MPG401, 测量范围从 5x10-9毫巴至大气压(3.8 x10-9乇至大〇气压).将两种测量方式组合在一个具有对数模拟输出的小型单元内,大大地降低了安装,设置和集成的复杂性.优点：复合真空规—冷阴极与皮拉尼宽的压强测量范围从5X10-9毫巴至大气压无可烧毁的灯丝卓越的引燃功能易清洗FPM或金属密封的馈入件高压加上时LED指示灯亮对数模拟输出讯号应用：高真空压强监测蒸发和溅射系统的压强测量一般真↘空测量和控制，从中至高真空范围技术参数： 测量范围 （空气, N2） 毫巴（乇） 5 x 10-9… 1000 （3.8 x 10-9… 760）精度 （N2） 1 x 10-8 … 100毫巴 % 读值 ≈±30%重复性1 x 10-8 … 100毫巴 % 读值 ≈±5%安装方向 任何允许压强 巴（绝对） ≤10 （限于惰性气体）允许温度工作 （室温） 贮存 烘烤 1）灯丝温度 （皮拉尼） °C°C°C°C +5 … +55–40 … +65150120电源电压 在规管上 V DC +15 … +30 在供电单元上, 最大电缆长度 2） V DC +16 … +30 纹波 Vpp ≤1 功耗 W ≤2 连●接保险丝 AT ≤1 输出讯号（测量讯号） 电压范围 V 0 … +10.5 测量范围 V +1.82 … +8.6 电压与压强的关系 对数, 0.6 V/量级误差讯号 V <0.5 （无电源） V >9.5 （皮拉尼传感器, 灯丝断裂） 输出阻抗 ? 2 x 10 最小负载阻抗 k? 10, 短路保护响应时间 p > 10-6 毫巴 毫秒 <10 p = 10-8 毫巴 毫秒 ≈1000 规管标识 k? 85, 参考电源公共点状态 仅皮拉尼模式 V 0 （低） 复合皮拉尼 / 冷阴极模式 V 15 … 30 （高） 指示灯 LED 绿色 高压on 电气连接 FCC 68 设备连接件, 8脚,凹型传感器电缆 8芯,加屏蔽电缆长度 米 ≤50 （8 x 0.14 毫米2） 工作电压 千伏 ≤3.3 工作电流 微安 ≤500 暴露于真空的材料 不锈钢, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W 不锈钢, Al2O3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W 内容积 厘米3 ≈20 重量 DN 25 ISO-KF 克 ≈700 ≈730 DN 40 ISO-KF 克 ≈720 ≈750 DN 40 CF-F 克 ≈980 ≈1010 保护级别 IP 40 标准 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1
