Angstrom sun SE系列椭偏膜厚测试仪广泛应用于：
1对于薄膜、涂层、大基底的光学常数（折射率n和消光㊣ 系数k）
2 对于薄膜的非破坏性准确厚度测量。
3对于各种薄膜中合金浓度的测定，例如SiGe合金中Ge的测定、AlGaN膜中Al的测定。
4对于GaN、SiC、AlN、AlGaN等，它们带隙的测定。
5在低介电常数下测定薄膜的孔隙率。
6测定纳米复合材料中所含每种成分的体积比含量。
7可以测定多层堆叠或者像量子阱】结构的周期性结构中的每一层的物理厚度和光々学特性。
8对薄膜在密度或合金的浓度上的不均匀性进行分析
8分析高介♀电常数薄膜的光学特性
9金属薄膜、金属化合物(例如WN、TiN、TaN等)、 掺杂半导体epi层（同时也决定了厚度）及其他的诸如ITO薄膜等复合氧化物的电导率进行无损检测。
10掺杂半导体掺杂浓度的无损∮检测
主要特点
•容易设置
,全自动校准及初始化系统
•容易操作的视窗№软件
•先进的光学设计确保最佳的系统性能
•入射角度↓能够以0.01度的分辨率▲自动变化
•大功率深紫外线光源用于宽波段的应用
•基于』阵列的探测系统，确保快速测量
•最多可测12层的薄膜厚度和折射率
•能够⌒ 实时的在线监测薄膜厚度及折射率
•2D和3D图形输出和友好的用户管理界面
技术参数
•波长范围：250nm~ 1000nm
•波长分辨率：1nm
•光斑尺寸：1~ 5mm
•入射角范▽围：10~ 90度
•入射角分辨率：0.01度
•数字图像：130万像素
•有效放大≡倍率：x 1200
•物镜的长工作距离：12mm
•中型光束尺寸：2 - 500?
•样品尺寸：最大直径300mm
•基板尺寸：最厚20mm
•可测量◥厚度范围：1? ~10?
•测量时间：?1s/Site
•精度：优于0.25％
•重复性：<1 ?
