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HR-2 (石英管式微波等离子体装置)
南京华仁仪器制造有限公司
详细说明
该装置是利用微波激励稀薄气体放电在石英管中产生稳态等离子体，在通入不同的工作气体，可进行稀薄材料的制备、化学合成、表面刻、等离子诊断等实验
1． 频率2.45GHz 0～500W连续可调
2． 采用工业上通用的磁控管
3． 压阻式真空计
4． Φ50mm石英管的真空室（带可视和诊断窗口）
5． 石英管采用水冷却，保证高功率下安全运行
6． 该装置有三个气体管路，方便于控制气体流量；
该装置的真空测量系统及控制阀门可保证真空室所需的真空环境
