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PlasCalc系列等『离子体监控器

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品　　牌：海洋光学

产品型号：PlasCalc

制造厂商：美国海洋光学公司上海代表处

所在地区：上海

详细说明

PlasCalc系列等离子体监控器

产品特点

1.0nm（半最大值全波）光学解析度
200～1100nm波长范围
快速建立和保存实验方法
调制步骤编辑
调制步骤编辑工具可以使用户简单、快速地◣设置、建立和保存实验方法。利用该工具可以对多数复杂的等离子体过程建立简便而有效的步骤设置：例如测量薄膜沉积情况、监测等◤离子蚀刻、检查表面清洁处理、分析等离子室健康控制情况、监测反常的污染和排放现象等。
用于简单的等离子体诊断的多重工具
PlasCalc型监控器配▽有操作软件，所提供的完整的公式编辑器可以进行所有需要的数学和算法功能。我们同时提供一个可选配的放射波长数据库，可□　以另外单独购买，它能够提供种类的鉴定；而波长编辑器则使用户完成信噪比的优化。操作界面包含两个窗口▂，可以同时显示真实的光谱和所有控制过程信】息。
产品规格

光谱范围

200～1100nm

光学解析度

1.0nm（半最大值全波）

数字/模拟◥转换器

14 bit

数字输入/输出

8 x TTL

模拟输出

4 x [0-10V]

连接方式

USB 1.1

USB 1.1

电力消耗

12V直流电，1.25A

电力需求

90～240V交流电，50/60Hz

尺寸

257 mm x 152 mm x 263 mm

重量

5 kg

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光谱范围	200～1100nm
光学解析度	1.0nm（半最大值全波）
数字/模拟◥转换器	14 bit
数字输入/输出	8 x TTL
模拟输出	4 x [0-10V]
连接方式	USB 1.1 USB 1.1
电力消耗	12V直流电，1.25A
电力需求	90～240V交流电，50/60Hz
尺寸	257 mm x 152 mm x 263 mm
重量	5 kg

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