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技术特征 先进的图象分析与处理 高清的影像自动对焦系统 高速伺服马达系统智能运动控制系统 可编程变焦的光学镜头 坚固的花岗岩耐久性高精密度固定桥式设计 高精密的X.Y方向的平面移动装置(Elite 系列)0.1 (0.5) um 高精密度的分辨率 可编程控制的照明系统 自动阶段误差补偿（专利申请中） 可选配激光扫描器及接触史探头的系统
