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产品型号：4 (LC)

制造厂商：美国●阿美特克有限公司

所在地区：北京

技术参数 质量数测量范围:1-100AMU/1-200AMU 样品压力范围:10exp-4Torr至高真空 最小可检分压：5exp-12Torr;如使用电子倍增器,最小可检分压降至5exp-14Torr 分辨率:0.5AMU(10%峰高) 灯丝发射电¤流:0.1-10mA;除气时50mA 电子能量:30-150V,除气时200V 离子能量:1-10V 灵敏度:2exp-4A/Torr(法拉第筒);测量条件是氮气的分子离子峰,0.5AMU峰宽(10%峰高),1mA发射电流 稳定性:质量数 ±0.1AMU(30分钟预热) 峰高 ±2%(30分钟预热)

主要特点 性能出色,价格很有竞争力,非常适用于半导体和薄膜沉积过程中的检漏和残①余气体分析 软件支持多种数据显示方式 四极→杆参数可自动优化 内置谱图,帮助确认组分

LC系列有出色的性能价卐格比,非常※适用于过程压力低于10exp-4Torr的检漏和残余气体分析;使用开放式离子源,质量数测量范围1-100AMU或1-200AMU,数据有多』种显示模式:质谱图,棒状图(省略分『辨率信息),趋势图(信号随时间的变化),检漏模式,列表模式,指︽针模式等;用户可对上述显示方式进行任意组合并保存,方便使用;软件□还自动生成日志文件,记录灯丝状态,报警事件等①,仪器开/关,方便管理