岛津ICPS-8100型等离子体光谱仪采用的晶体管固态高频发生器，是目前商品ICP光谱仪中，体积最小、重量最轻】的发生器。雾化效率高，达到65%。所以，载气可以用工业氩气（99.95%），而无需使用高价的高纯氩气（99.999%）。
ICPS-8100型等离子体光谱仪是顺序扫描型ICP，具有高分辨率，更适用于基体复杂的样品，如稀土、钼、钨等。ICPS-8100型使用岛津自主⊙生产的全球最高刻线的光栅（4960条/mm），对UV区谱线实现全╱球最高分辨率。
仪器主要特点：
1、波长范围：160-850nm；
2、光学系统：双光栅分光器；
3、光栅刻线数：4960条/mm（160-372nm）；
4、真空紫外区元素对应：真空型分光器；
5、分器温度：恒温控制；
6、RF高频发生器：晶体振荡型；
7、频率：27.12MHz；
8、炬管：垂直放置；
9、观测方向：纵向观测、轴向观测切换（选配）；
10、雾化器：同心型；
11、雾化室：旋流雾室；
12、等离子体炬管：标准炬管；
13、软件：定性分析、定量分析、110000条谱线专家数据库、漂移校正、内标校正、背景校正、空白扣除、共存元素校正。