岛津等离子体光谱仪采用的晶体管固态高频发生器，是目前商品化ICP光谱仪中体积最小、重量最轻的发生器。雾化效率高，达到65%。所以，载气可以用工业氩气（99.95%），而无需使用高价的高纯氩气（99.999%）。

ICPS-7510型等离子体光谱仪是顺序扫描型ICP，具有高分辨率，更适用于基体复杂的样品，如稀土、钼、钨等。
仪器主要特点:
1、波长范围：160-850nm；
2、光学系统：光栅分光器；
3、真空紫外区元素对应：真空型分光器；
4、分器温度：恒温控制；
5、RF高频发生器：晶体振荡型；
6、频率：27.12MHz；
7、炬管：垂直放置；
8、观测方向：纵向观测、轴向观测切〓换（选配）；
9、雾化器：同心型；
10、雾化室：旋流雾室；
11、等离子体炬管：标准炬管；
12、软件：定性分析、定量分析、110000条谱线专家数据库、漂移校正、内标校正、背景校正、空白扣除、共存元素校正。